日本住友200℃低温堆积金刚石膜技能打破10微米/小时成长速度,美国元素六公司开宣布4英寸异质外延衬底。而我国依托全球90%的人工金刚石产能(年产量超3000吨),正在打通从培养钻石到半导体资料的工业跃升通道。郑州三磨所研制的激光切开设备,可将六方金刚石加工精度控制在±0.1μm,而中科院开发的等离子体掺杂技能,初次在金刚石中完成n型掺杂浓度1×1019cm-3。
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