金融界 2024 年 12 月 31 日音讯,国家知识产权局信息数据显现,湖州中芯半导体科技有限公司获得一项名为“一种 CVD 金刚石化学气相堆积组织”的专利,授权公告号 CN 222226547 U,请求日期为 2024 年 1 月。
专利摘要显现,本实用新型触及一种 CVD 金刚石化学气相堆积组织,包含圆形真空反应罐为夹层结构,且圆形真空反应罐侧边均匀开设有活动密封孔,圆形真空反应罐内部中心方位设有堆积台,堆积台下端设有加热组织,加热组织设置在圆形真空反应罐下端中部,圆形真空反应罐下端均匀设有三个相同的缓震支撑腿,加热组织右侧设有抽真空设备,抽真空设备上端固定衔接圆形真空反应罐,经过设置堆积台,使用加热组织对导热柱加热,然后使得产生台上温度上升,堆积复合片上堆积功率升高,并且将堆积复合片竖直放置,保证正反两面均能够成长晶体,还设置了缓震支撑腿来完成堆积功率高,缓震作用好,密封功能佳,安全系数高。